বিশুদ্ধ বাষ্প জেনারেটর এমন একটি সরঞ্জাম যা বিশুদ্ধ বাষ্প উত্পাদন করতে ইনজেকশন বা পরিশোধিত জল ব্যবহার করে। প্রধান অংশ লেভেল পরিশোধন জল ট্যাংক. ট্যাঙ্কটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা বাষ্প তৈরি করতে বয়লার থেকে বাষ্প দ্বারা ডিওনাইজড জল গরম করে। ট্যাঙ্কের প্রিহিটার এবং বাষ্পীভবন নিবিড় বিজোড় স্টেইনলেস স্টীল টিউব গ্রহণ করে। এছাড়াও, আউটলেট ভালভ সামঞ্জস্য করে বিভিন্ন ব্যাকপ্রেশার এবং প্রবাহের হার সহ উচ্চ-বিশুদ্ধতা বাষ্প পাওয়া যেতে পারে। জেনারেটরটি জীবাণুমুক্ত করার জন্য প্রযোজ্য এবং ভারী ধাতু, তাপের উৎস এবং অন্যান্য অপরিচ্ছন্নতার স্তূপ থেকে সৃষ্ট গৌণ দূষণ কার্যকরভাবে প্রতিরোধ করতে পারে।